UV照射装置 UH102＆UH104
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様々な種類のテープをムラなく「硬化」 主にダイシングテープの硬化用として開発されたのが、このUH102 & UH104
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UH102 : 特殊平面状水銀ランプでムラ無く均一な照射
UH102は、特殊平面状水銀ランプ（ 主波長254nm ）と優れたUVランプを使用することで、
ムラも無く、均一にUV照射が行える上に、様々な種類のテープを「硬化」できます。
各種素材の表面改質や、紫外線オゾン洗浄装置など、様々な目的でご使用いただくことが可能です。
UH104 : リーズナブルでも一流のパフォーマンス
UH104は、環境を考慮したオゾンフリーのUVランプ（ 主波長365nm ）を使用し、紫外線照射を行います。
軽量、小型なデスクトップタイプでありながら、300mm のサイズまで対応します。
オプションで、ロータリーステージの取り付けも可能です。
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| 特殊平面状水銀ランプ | UH104 |
■ コンパクトなデスクトップ型。
■ 独自の平面状水銀ランプを使用、ムラ無く均一なUV照射を実現（UH102)。
■ 12インチのウエハーまで対応。
■ 安全性を考慮したインターロック機能付き。
■ 自動シャッターにより、ランプの光線は直接目に触れません。
■ 設定時間の入力とスタートスイッチのみの簡単操作。
| UH102 | UH104 | |
| 対応サイズ | 〜8インチ、〜12インチ | |
| 放射波長 | 254nm | 365nm |
| 放射出力強度 | 25mW/cm2c㎡(ランプから2c㎡の距離で測定) | 15mW/cm2c㎡(ランプから2c㎡の距離で測定) |
| 8インチ 機 外形寸法 | H406mm x W482mm x D648mm | H247mm x W515mm x D549mm |
| 重 量 | 50kg | 24kg |
| 12インチ 機 外形寸法 | H406mm x W622mm x D749mm | H285mm x W587mm x D651mm |
| 重 量 | 58.5kg | 32kg |
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