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半自動ウェハー・フレーム用フィルム・マウンター UH115

ウェハー、ガラス、セラミックへのフィルムマウントが簡単！

気泡を残さず、安定した貼り付け！ペット材テープ等硬いフィルムのマウントに最適な機種！

より使いやすくなった半自動フィルム/ウェハマウンター

セミオートフィルムマウンターUH115 はマニュアル式マウンター UH114 より更に厳しい条件をクリアし「より使い易く」「より高品質に」を追求した新型のセミオートフィルムマウンタです。
UH115 の3インチ～6インチタイプと UH115-8 の8インチタイプを揃えております。
オプションのエッジコンタクトステージはウェハーをエッジのみで支え表面に非接触で貼り付ができます。
またステージに関してはユーザー様の要望に合わせて自由にオーダーできます。

様々な条件に柔軟性に対応するハイ・コストパフォーマンス機

セミオート化を実現した事によって、オペレーターによる品質のバラツキを極限まで排除し､また作業時間を短縮させる事ができます
新開発のテープフィード機構により従来のフィルムマウンターに共通の問題であった「テープの剥がれ目に発生する糊ムラ」をウェハー貼り付け位置から排除しました
デリケートなウェハーに極力ダメージを与えないようローラを往復で加圧させず貼り付け後、ウェハーに非接触で元の位置に戻ります
Model UH115はほとんどのテープに対応し、伸縮性の無いペット材製のフィルムでも使用可能です､またウェハーの厚さ・フレームの種類に合わせて調整が可能で､調整は作業位置から容易にでき､条件の変更にも柔軟に対応します
テープ取り付けユニットが前方スライド機構によりテープの交換が容易になりました

機種

Moded UH115 → 3～6インチまで
Moded UH115-8 → 8インチ

オプション

エッジコンタクトステージ
イオナイザー
エアフィルター
コンバム

標準装備

セパレータ巻き取り機構

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